主な受賞歴

• 1973年「大越記念会記念賞」（精機学会）IC パターンの精密投影焼付装置の開発(PPC-210、　FPA-120)春本功　外
• 1977年「全国発明表彰経済団体連合会会長賞」（発明協会）電子ビーム露光装置の発明、馬場玄式　外
• 1979年「大越記念会記念賞」（精機学会）オートアライナーの開発(PLA-500FA)、吉成秀樹　外
• 1980年「大河内賞大河内記念技術賞」（大河内記念会）遠赤外線による反射投影露光装置の開発、岩松誠一　外
• 1982年「大河内賞大河内記念技術賞」（大河内記念会）縮小投影型露光装置の開発、中澤喜和雄　外
• 1984年「大河内賞大河内記念技術賞」（大河内記念会）可変面積型高性能電子ビーム露光装置の開発、後藤英一　外
• 1985年「機械振興協会賞」（機械振興協会）レーザー走査を用いた逐次自動位置合せ投影露光装置の開発（FPA-1500FA）
• 2002年「機械振興協会賞」（機械振興協会）130nm対応KrFエキシマレーザ露光装置の開発（FPA-5000ES3）
• 2002年「全国発明表彰特許庁長官賞」（発明協会）半導体露光装置の高解像化技術の発明、白石直正