安定成長期
フォトレジスト
参考文献等
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JSRマイクロ九州株式会社ホームページ(http://www.jmq.jsr.co.jp/products.html)
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青島矢一・高永才・久保田達也(2010)「日本電気: 最先端LSI量産を可能にしたArFレジスト材料の開発」一橋大学イノベーション研究センターIIRケーススタディ(http://pubs.iir.hit-u.ac.jp/admin/ja/pdfs/show/1164)、久保田達也・青島矢一・高永才(2013)「富士通株式会社: 最先端LSIを実現したArFエキシマレーザーリソグラフィ用新規レジスト材料の開発と実用化」一橋大学イノベーション研究センターIIRケーススタディ(http://pubs.iir.hit-u.ac.jp/admin/ja/pdfs/show/1669)
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みずほ銀行産業調査部「2014年度の日本産業動向(機能性化学)」(みずほ産業調査:2014)
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高橋一雄(2016)「露光装置技術発展の系統化調査」産業技術史資料情報センターウェブページ、かはく技術史大系、技術の系統化調査報告書(http://sts.kahaku.go.jp/diversity/document/system/pdf/022.pdf)
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東京応化工業株式会社編(2000)「東京応化60年史」東京応化工業、48頁
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東京応化工業株式会社編(前掲5)、49頁
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それまでは密着型であったのが、新たな方式として汚れに強く歩留まりの良いミラープロジェクション型が求められるようになった。
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JSR総務・法務部社史担当 編纂(2009)「技術の地平を拓く:JSR50年の歩み」JSR179頁
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JSR総務・法務部社史担当 編纂(前掲8)246頁
その他参考文献
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電子情報技術産業協会・ICガイドブック編集委員会(2012年)「ICガイドブック よくわかる!半導体(2012年版)」産業タイムズ社。
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電子情報技術産業協会・ICガイドブック編集委員会(2012年)「ICガイドブック 未来を創る!半導体」産業タイムズ社。
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電子情報技術産業協会・ICガイドブック編集委員会(2012年)「ICガイドブック 半導体産業データ」産業タイムズ社。
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中馬宏之(2009年)「テクノロジーとマーケットの複雑性に挑むJSR:その大いなる変貌要因を探る」RIETI Discussion Paper Series、09-J-033。
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日経BP企画(2006年)「ICガイドブック」電子情報技術産業協会(JEITA)。
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福田直晃(2013年)「持続的競争優位性獲得のためのグローバルR&Dに関する一考察」神戸大学ワーキングペーパー。(mba.kobe-u.ac.jp/life/thesis/workingpaper/2013/wp2013-5b.pdf) ※現在リンク切れ
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吉田秀明(2008年)「半導体60年と日本の半導体産業」大阪経済大学日本経済史研究所『経済史研究』第11号。
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産業競争力懇談会ウェブページより、2011年、「半導体戦略プロジェクト 産業競争力強化のための先端研究開発」(http://www.cocn.jp/thema41-L.pdf)
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日本半導体歴史館ウェブページ(http://www.shmj.or.jp/index.html)
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フローディア・ウェブページ(http://floadia.com/column.html)
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semiウェブページ(http://www.semi.org/jp/node/17346)