参考文献等

• 佐藤貢「ナノテクの世界をひらく超高分解能走査電子顕微鏡技術」日立評論Vol.89. No.6（2007年）58－63頁
• 大林秀仁「イノベーションを支える電子顕微鏡の進化」日立評論Vol.91. No.1（2009年）４－９頁
• 土井秀明 他「測る－社会･産業分野に貢献する計測技術」日立評論Vol.94 .No.2（2012年）17－21頁
• 池上透 他「半導体用微小寸法計測システムの発展と今後の展望」日立評論Vol.93 .No.2（2011年）33－37頁
• 小室修 他「1Xnm半導体プロセスの工業計測」日立評論Vol.94. No.2（2012年）40－45頁
• 大高正 他「半導体プロセス評価装置」日立評論Vol.68. No.9（1986年）37－42頁
• 大高正 他「電子ビームを用いた半導体プロセス評価装置」日立評論Vol.77.No.11（1995年）49－54頁
• 田中敬一『超ミクロ世界への挑戦―生物を80万倍で見る』（岩波新書、1989年）