主な受賞歴

• 2008年「大河内記念生産賞」（大河内記念会）半導体超微細パターン計測用測長SEMの開発と実用化、日立製作所、日立ハイテクノロジーズ、日立ハイテクフィールディング
• 2010年「IEEE Ernst Weber Engineering Leadership Recognition」（The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.）大林秀仁
• 2012年「日本半導体イノベーション50選」（半導体産業人協会）測長SEMの開発と製品化、日立製作所
• 2012年「IEEE マイルストーン」（The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.）電界放出形電子顕微鏡を世界に先駆けて実用化した功績に対して