本発明は、電子顕微鏡で得た観察像の特徴を解析することにより、装置内の電子ビームの形状を高精度に評価可能とするものです。電子顕微鏡では原子スケールに至る微細構造の観察が可能ですが、極微の世界において物質は非常に多様な構造をもつことから、従来手法では様々な観察対象・条件において安定して装置状態を評価することが困難でした。これに対し本手法は観察像の特徴を複数スケールに分離して解析することにより、安定した装置状態の評価と自動調整を実現しました。

　最も苦労したのは、相反する要求である「精度」と「汎用性」の両立でした。電子顕微鏡は観察対象がmmサイズから原子サイズまで多岐にわたるため、どの条件でも安定動作する汎用性が求められます。同時に、原子レベルの観察ではきわめて高い精度での調整が必要であり、装置の微小な調整ずれが検査結果を左右してしまいます。これらを両立させることは容易ではありませんでしたが、問題の本質的な原因を分析し、段階的に検証を進めることで、実用的な手法の確立に成功しました。

　この度、文部科学大臣賞という栄誉ある賞を賜りましたこと、大変光栄に存じます。本技術は開発から製品搭載にいたるまで、大変多くの方々にご支援いただきました。これまでお世話になりました皆様に心より感謝申し上げます。 本技術をはじめ、微細な構造を「見る」技術は近年ますます重要となっています。今回の受賞を励みに、さらなる技術革新を通じて社会に貢献することを目指し、引き続き取り組んでまいります。