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発明協会の表彰事業

令和8年度全国発明表彰 受賞発明・意匠概要(敬称略)
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経済産業大臣賞
低ノイズを実現した単一光子計測イメージセンサーの発明(特許第7379606号)
森本 和浩キヤノン株式会社 デバイス開発本部 デバイス開発統括部門
半導体デバイス第一開発センター 室長
篠原 真人キヤノン株式会社 デバイス開発本部 デバイス開発統括部門
半導体デバイス第一開発センター

発明実施功績賞
御手洗 冨士夫キヤノン株式会社 代表取締役会長 CEO

 本発明は、単一光子計測イメージセンサー(SPADセンサー)に関するものである。SPADセンサーは、画素となるフォトダイオードのPN接合に高電圧を印加して形成した増倍領域で光信号を増幅することにより、CMOSセンサーではできない極低照度下での撮像を可能にする。
 従来、感度向上のためには増倍領域の拡大が必要で、ノイズ低減のためには増倍領域の縮小が必要というトレードオフがあり、用途は主に測距に限られていた。
 このトレードオフに対し、「電荷を敢えて迂回させて、画素の中央に集めてから確実に増倍させる」という設計思想によりブレイクスルーを達成した。試行錯誤の末、増倍領域の周囲にP型領域を設けて電荷の移動経路を精密に制御することに成功した。これにより、トレードオフが克服され、従来比でノイズを約1/1,000に低減し、感度を約7倍に向上させることができた。
 本発明は、夜間監視用途での普及が進んでいるほか、車載分野での事故防止や医療分野への応用が期待され、安心安全で持続可能な社会の実現に貢献する。


図1 本発明のSPADセンサー画素部の
断面イメージ図
図2 本発明のSPADセンサーと
従来のSPADセンサーの
感度とノイズ性能



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