特許庁長官賞

パドル処理による基板を除電する方法（特許第4498893号）

【京都発明協会】

橋詰　彰夫

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ ビジネス本部　グローバルフィールド事業部 ポストセールスマネジメント部　副参事

実 施 功 績 賞

垣内　永次

株式会社SCREENホールディングス 代表取締役　取締役社長　最高経営責任者（CEO）

　本発明は、半導体製造工程に用いられる基板洗浄装置に関するものであり、洗浄処理中の摩擦に起因して生じる基板の帯電量を低減することで、基板上に形成される半導体デバイスの不良の発生を防止するものである。
　本発明の基板洗浄装置は、基板を水平に保持して第１回転速度で回転させる状態で、基板に水を含む液体を供給する。次に、第１回転速度よりも低速な第２回転速度で回転させるか、または基板の回転を停止している状態で、液体の供給を停止し、基板表面に液体の液膜を保持した状態、いわゆるパドル処理を行う。これにより、基板とその表面の液膜を構成する液体との相対移動が生じなくなり、単位時間当たりの放電量が摩擦による帯電量を上回る状態となり、基板の除電を効率的に進行させることができる。
　本発明の実施による効果は半導体業界の要望に応えるものとなり、国内のみならず世界の大手半導体メーカーでも採用され、弊社の枚葉洗浄装置の高い世界シェアに繋がっている。

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