発明協会会長賞

超高感度ポジ型感光性樹脂前駆体組成物（特許第4548001号）

【滋賀県発明協会】

藤田　陽二	東麗先端材料研究開発（中国）有限公司 材料応用開発中心　電子情報材料技術部 担当部長
富川　真佐夫	東レ株式会社　リサーチフェロー 電子情報材料研究所・研究主幹

実 施 功 績 賞

日覺　昭廣 （※廣はまだれに黄）

東レ株式会社　代表取締役社長

　本発明は、図１に示す、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜、有機電界発光素子の絶縁層などに適した、紫外線で露光した部分がアルカリ水溶液に溶解し、パターン形成できる超高感度なポジ型感光性樹脂前駆体組成物に関するものである。
　半導体素子の製造における表面保護膜のパターン加工工程において、従来技術では、２５０℃前後の低温で熱処理をした後の耐溶剤性の不足や、安定した現像性が得られないといった課題があった。本件発明者らは、特定の構造を有するポリイミド前駆体及びポリベンゾオキサゾール前駆体１００重量部に対し、ノボラック樹脂および／またはポリヒドロキシスチレン樹脂を１０１重量部以上用いることで、高感度、高解像度に優れ、かつ２５０℃の熱処理においても高い耐溶剤性が得られる超高感度ポジ型感光性樹脂前駆体組成物を開発した。
　本発明により、半導体素子の生産性を高めることができ、経済効果は大きい。また、国内だけでなく海外の半導体メーカーへの採用も拡大しており、海外への波及効果は大きい。さらに、高感度化と未露光部分の溶解性の制御を両立させることが可能となったことは学術的に大きな意味を有する。

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