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平成30年度関東地方発明表彰

日本弁理士会会長賞

ゲートバルブの弁体固定方法(特許第5890929号)

【茨城県発明協会】

田村 和美

上海ブイテックス貿易株式会社 総経理

佐藤 高行

株式会社ブイテックス 品質保証部 部長

飛田 能基

株式会社ブイテックス 設計部 主任技師

実 施 功 績 賞

島村 真二

株式会社ブイテックス 代表取締役


 本発明は、半導体製造装置等の真空室内を真空状態に保持するゲートバルブについて、特に真空を保持するシール部材を均等に押付ける信頼性の高いバルブ構造に関するものである。
 本発明の特徴は、弁体サポートの中央部1ヵ所の弁体ステムによる押圧力で弁体を開閉する場合、弁体及び弁体サポート材質をステンレス鋼または厚板構造とすること無く、アルミニウム材の比較的薄い弁体でシール部材を弁座面に全周にわたり均等な押付け力で押付けられる構造とした事である。弁体の剛性はシミュレーションによる応力及びたわみの結果から最適固定位置を算出し、信頼性を向上させている。
 発明の効果として、本ゲートバルブが使用される半導体業界では、年々メモリーの容量UPと高速化が進められている。また、製造コストの削減も要求される中で本発明による構造を適用した事により、歩留まり向上によるコスト削減と単位時間当たりの生産量増大に貢献している。


ゲートバルブの弁体固定方法
ゲートバルブの弁体固定方法

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