文部科学大臣賞

半導体多層回路パターンの計測装置（特許第4969635号）

【茨城県発明協会】

豊田　康隆	株式会社日立製作所　研究開発グループ　制御イノベーションセンタスマートシステム研究部　リーダ主任研究員
杉山　明之	株式会社日立ハイテクノロジーズ　評価システム製品本部評価ソフトウェア設計部　技師
酢谷　拓路	株式会社日立ハイテクノロジーズ　評価システム製品本部評価ソリューション開発部　技師
納谷　英光	株式会社日立製作所　研究開発グループ　制御イノベーションセンタスマートシステム研究部　主任研究員

実施功績賞

宮﨑　正啓

株式会社日立ハイテクノロジーズ　代表執行役　執行役社長

　本発明は、半導体の進化を支える測長SEM（※1）の計測成功率を向上させるものであり、ウエハ上に形成された超微細かつ複雑な多層構造の回路を正確に計測する技術である。（※１：パターンの寸法計測に特化した走査電子顕微鏡）
　撮影した高倍率の画像に含まれる所望の計測ポイントを特定するために、多層構造を有する半導体の回路設計図と設計図上の計測ポイントの情報を利用して、回路画像とのパターンマッチングを行い、層毎の回路形状の変形や層間のあわせずれを許容評価して計測ポイントを探索する。この処理により、数十ナノメートルサイズの多層構造回路の計測ポイントを正確に特定することが可能になった。
　本発明は、日立ハイテクの設計データ応用システムに採用され、世界市場でトップシェアを誇る同社製の測長SEMの性能を格段に向上させた。測長SEMは世界の主要な半導体メーカに納入され、パソコン、サーバ、スマートフォン等、様々な電子機器の安定生産を支える基盤技術として大きく貢献している。

文部科学大臣賞

半導体多層回路パターンの計測装置（特許第4969635号）

【茨城県発明協会】

実 施 功 績 賞

実施功績賞