日本弁理士会会長奨励賞

レーザ加工の品質を向上させるミラー（特許第4552848号）

【兵庫県発明協会】

小林　信高	三菱電機株式会社　生産技術センター構造化技術推進部　構造適合化グループ　専任
竹野　祥瑞	三菱電機株式会社　生産技術センター構造化技術推進部　部長

実施功績賞

柵山　正樹

三菱電機株式会社　執行役社長

　本発明は、１つの集光レンズに２本のレーザビームを通して、プリント基板に高速に微細な穴をあけるレーザ加工機に搭載する『レーザビームの歪みを補正するミラー』である。これにより、加工穴の真円度を向上できる。
　両端でピッチの異なるネジ一本を回転させるだけでレーザビームの反射面を鞍型に変形できる簡便な構造を考案した（図１参照）。このミラーでビームのひずみを補正して、集光形状を楕円から真円に補正する。考案した構造によれば、ネジの回転により、ミラー裏面のＸ軸両端に正、Ｙ軸両端に負の荷重が印加され、Ｘ軸方向には凹、Ｙ軸方向には凸の変形が生じる。この鞍型変形により、楕円ビームが円形へ修正される（図２参照）。
　スマートフォン等に内蔵されるプリント基板は多層構造で、各層は穴で電気的に繋がっている。本発明を適用したレーザ加工機が高密度実装に不可欠なφ50umの小径穴を実現し、情報端末の小型・高機能化を支えている｡

図１　本発明のミラー構造

図２　変形形態と改善効果

日本弁理士会会長奨励賞

レーザ加工の品質を向上させるミラー（特許第4552848号）

【兵庫県発明協会】

実 施 功 績 賞

実施功績賞