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平成26年度九州地方発明表彰

九州経済産業局長賞

水晶板の超薄板化エッチング加工法(特許第3492933号)

【長崎県発明協会】

山田 浩

九州電通株式会社 取締役技術部長

実 施 功 績 賞

角谷 省一

九州電通株式会社 代表取締役社長


本発明は、マグネトロンプラズマによるドライエッチング技法を用いて、機械研磨では困難な30μm以下の水晶板を中央部分のみを薄くした反転メサブランクと呼ばれる超薄型水晶素板を提供するエッチングプロセスである。
従来、反転メサブランクの製作には、薬品(弗酸)を使って薄板化するウェットエッチングが行われていたが、ウェットエッチングではエッチチャンネル(針状の穴を形成する線状欠陥)の発生やエッチング面が荒い等のウェットプロセスがもつ致命的欠点があった。本発明では、マグネトロンプラズマを用いたドライエッチングプロセスを開発することにより、これら水晶素板の薄板化技術の問題点を解消し、従来にない超薄型水晶素板(反転メサブランク)の加工に成功した。
超薄型水晶素板を用いて高周波水晶デバイス(振動子・発振器)に使用され、通信基地局の高速化、家庭内光通信(FTTH)、移動体の高速化(LTE、4G)への移行、クラウドコンピューティング等に応用されている。

水晶板の超薄板化エッチング加工法

マグネトロン放電機構

水晶板の超薄板化エッチング加工法

プロセスフロー

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