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平成26年度近畿地方発明表彰

日本弁理士会会長奨励賞

高出力・高効率半導体レーザ(特許第4500516号)

【兵庫県発明協会】

竹見 政義

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
ウエハ製造部 部長

小野 健一

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
営業部 業務課

花巻 吉彦

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
ウエハ製造部 プロセス技術課

綿谷 力

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
ウエハ製造部 プロセス技術課

八木 哲哉

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
光デバイス部 主席技師長

西口 晴美

三菱電機株式会社 人事部 人材開発センター

佐々木 素子

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
製造管理部 技術管理課

阿部 真司

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
光デバイス部 短波高出力LD課

吉田 保明

三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
製造管理部 技術管理課

実 施 功 績 賞

柵山 正樹

三菱電機株式会社 執行役社長


本発明は、記録型DVDドライブ等の半導体レーザ素子積層構造において、電力を供給するための金属電極に接するp型GaAsキャップ層に、p型不純物元素として、高濃度のC(炭素)を簡便な方法により添加する製造方法に関するものである。
本発明では、GaAs成長時の条件を最適化することで、GaAsの成長に用いるトリメチルガリウムからCをGaAsに積極的に添加する成長方法を採用する。この結果、5×1019/cm3を超える高濃度のp型GaAsキャップ層が得られ、金属電極−半導体間の接触抵抗を従前のZn添加に比し30%程度下げることができるとともに、GaAs成長時の材料ガスのみを用いてCの添加を行うため、製造コストや製造時間を大幅に削減することが可能となる。
本発明により、安価に高出力・高効率の半導体レーザ素子の作製が可能となり、記録型DVD等の赤色半導体レーザ素子の高性能化に貢献するだけでなく、ディスプレイ、レーザ加工機などの応用製品への適用を通じ、新規市場の開拓ならびに新興国における当該技術の浸透に大きく寄与している。

高出力・高効率半導体レーザ
高出力・高効率半導体レーザ

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