発明協会会長奨励賞

液晶表示装置用ソースドライバの製造方法（特許第4971593号）

【宮城県発明協会】

前川　尚之

ラピスセミコンダクタ宮城株式会社
開発部　基幹プロセス開発グループ　グループリーダー

実施功績賞

岡田　憲明	ラピスセミコンダクタ株式会社　代表取締役社長
松本　宗之	ラピスセミコンダクタ宮城株式会社　代表取締役社長

本発明は、高速動作用トランジスタと高耐圧用トランジスタの異種トランジスタを搭載し、高耐圧用トランジスタの耐圧を確保し、且つ、サリサイドプロセスの採用を可能とする液晶表示装置用ソースドライバの製造方法に関するものである。
本発明の液晶表示用ソースドライバの製造方法は、高速動作用トランジスタと高耐圧用トランジスタに形成されるサイドウォールスペーサのうち、高耐圧用トランジスタのサイドウォールスペーサ幅を拡大して形成する工程と、ゲート電極とサイドウォールスペーサをマスクとして高濃度不純物注入を行う工程と、ゲート電極と高速動作用トランジスタ並びに高耐圧用トランジスタの高濃度不純物領域の表面にサリサイド膜を形成する工程とを有している。
拡大されたサイドウォールスペーサをマスクとして高耐圧用トランジスタの高濃度不純物注入を行うことにより、ゲート電極と高濃度不純物に十分なオフセットを確保すると共に、サリサイドプロセスの採用が可能となる｡

発明協会会長奨励賞

液晶表示装置用ソースドライバの製造方法（特許第4971593号）

【宮城県発明協会】

実 施 功 績 賞

実施功績賞