特許庁長官奨励賞
バンプ電極下のパッド同層配線(特許第4708148号)
【北海道発明協会】
吉岡 明彦 |
元 株式会社ルネサスデザイン システムLSI第四本部 設計第二部 LCDデバイス設計課 技師 |
鈴木 進也 |
ルネサス システムデザイン株式会社 第三開発事業部 システムアナログ設計第三部 設計第二課 主任技師 |
実 施 功 績 賞
鶴丸 哲哉 |
ルネサスエレクトロニクス株式会社 代表取締役社長 兼 COO |
本発明は、液晶ディスプレイを駆動させる液晶駆動用ドライバICにおいて、接続信頼性を維持したまま液晶駆動用ドライバICのチップサイズの縮小に寄与するものである。
バンプ電極は、絶縁膜の開口部を介して最上配線層で形成されたパッドと接続される。従来のパッドはバンプ電極とほぼ同等の大きさだったが、その大きさを電気的特性に影響しない程度に限りなく小さく形成し、バンプ電極直下に空きエリアを設けることで、パッドと同層のため迂回させていた電源や信号等の他の配線をその領域に形成することを可能にした。その結果、配線領域の縮小と配線レイアウトの自由度を向上させることが可能となった。
この方法は、新たに配線層の製造工程を増やすことなく、特性品質の安定確保やチップサイズの縮小を容易に実現できる手段であり、その効果はバンプ電極の大きさや数が増えるほど高く得られるため、将来的にも有効な技術であり更なる普及が期待される。
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